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近日，由南昌大學(xué)材料學(xué)院博士生劉冠鵬負(fù)責(zé)的“芯像視成”項目，在第七屆江西省“互聯(lián)網(wǎng)+”大學(xué)生創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)大賽中獲得金獎。該項目依托南昌大學(xué)國家“雙一流”建設(shè)學(xué)科和南昌大學(xué)國家硅基LED工程技術(shù)研究中心，致力于MicroLED無掩膜光刻機(jī)技術(shù)研究與落地轉(zhuǎn)化，將助力我國半導(dǎo)體和無掩膜光刻相關(guān)技術(shù)的研究與產(chǎn)品開發(fā)。

光刻機(jī)作為微電子裝備的龍頭，是芯片IC和PCB電路板制備技術(shù)的核心設(shè)備。隨著電子技術(shù)的發(fā)展，電路板和芯片的需求越來越大，受益于下游需求旺盛，光刻設(shè)備有望量價齊升帶動市場空間不斷增長。就連PCB線路板制造用的中低端紫外光刻機(jī)也受制于人。此外PCB線路板制造、半導(dǎo)體生產(chǎn)及高精密細(xì)線路曝光等都需要大量的掩膜來進(jìn)行特定圖形的曝光。掩模板制作復(fù)雜、周期長、費用昂貴，一旦完成無法修改，這些缺陷嚴(yán)重限制了電子行業(yè)的發(fā)展。無掩膜光刻設(shè)備成為PCB板、半導(dǎo)體行業(yè)發(fā)展的必然選擇。

該項目參照傳統(tǒng)光刻的原理，同時利用能實時投影出動畫的MicroLED微型顯示器芯片，提出采用MicroLED微型顯示器芯片投影的方式直接在基板上投影出想要光刻的電路圖案。為了降低掩膜制作和光刻加工的成本，項目開發(fā)和制造了基于MicroLED微顯示芯片的無掩膜紫外光刻機(jī)。它具備四個特點，即無掩，無需掩膜版，通過投影的方式直接成像進(jìn)行光刻；高光，可以減少曝光時間；特供芯片獨家供應(yīng)；微體，光源和圖像控制部分制作在一個IC上，無需外加光源，使得器件體積可減小70%。目前該項目研制的無掩膜光刻機(jī)已經(jīng)能夠?qū)崿F(xiàn)復(fù)雜PCB電路板的光刻。

該項目團(tuán)隊利用自主研發(fā)和制備的自發(fā)光MicroLED芯片，在光刻設(shè)備技術(shù)原理上進(jìn)行了創(chuàng)新，開發(fā)和制造了基于MicroLED數(shù)字光芯的無掩膜光刻機(jī)，成功實現(xiàn)復(fù)雜PCB電路板的無掩膜光刻。

原文鏈接：http://www.news.cn/tech/20210824/d98496a50fe84f8d83669bd4a7aa0492/c.html

編    輯：涂金鳳

責(zé)任編輯：許  航